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企業(yè)會(huì)員
產(chǎn)品價(jià)格詢價(jià)
產(chǎn)品品牌未填
最小起訂≥1
供貨總量748
企業(yè)旺鋪http://nnzzn.udxd.com/
更新日期2021-10-06 16:50
會(huì)員級(jí)別：網(wǎng)站管理員
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企業(yè)二維碼： 企業(yè)名稱加二維碼
品牌： |
未填 |
所在地： |
北京 |
起訂： |
≥1 |
供貨總量： |
748 |
有效期至： |
長(zhǎng)期有效 |
中葦電子科技有限公司供應(yīng)SEMITOOLSRD甩干機(jī),semitool原裝備件配件供應(yīng)商,semitool密封門,semitool窗口,semitooldoor,SEMITOOL定位氣缸,psc-101控制器,LC-5 LC-4驅(qū)動(dòng)器,semitool轉(zhuǎn)子
SEMITOOL產(chǎn)品中的SRD旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)是根據(jù)國(guó)際、國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市場(chǎng)需求，研究開發(fā)的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干設(shè)備。該機(jī)型具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能。本系列機(jī)型可以適應(yīng)從φ25mm到φ200mm直徑（包括方形和其它特殊形狀）片式材料的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干工藝。可用于半導(dǎo)體晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽(yáng)能電池基片、藍(lán)寶石、鈮酸鋰、光學(xué)鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導(dǎo)體濕法清洗工藝中必不可少的主流設(shè)備之一。
SEMITOOL psc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機(jī)
描述：
SEMITOOLpsc-101旋轉(zhuǎn)清洗干燥機(jī)采用去離子水沖洗和加熱的氮?dú)飧稍锶詣?dòng)晶片襯底后的濕化學(xué)方法。有兩個(gè)雙層干衣機(jī)和潔凈室中一堆烘干機(jī)。該系統(tǒng)使用一個(gè)可編程的方法來(lái)自動(dòng)處理晶圓。
規(guī)格/性能：
一種電阻率探針可監(jiān)測(cè)浴中的化學(xué)濃度（稱為“漂洗電阻率”），以確保完全去除化學(xué)品。
無(wú)點(diǎn)式干燥氮?dú)饧訜崞鳌?/p>
可編程的食譜包括漂洗，質(zhì)量沖洗，清洗，和干燥周期。
支持樣本量：
最大晶片直徑：200毫米（8英寸）
晶圓直徑：75毫米（3英寸），100毫米（4英寸），150毫米（6英寸），和200毫米（8英寸）。
掩模尺寸：125毫米（5英寸），150毫米（6英寸）。
支持的小片段：沒(méi)有。
典型應(yīng)用：
晶圓和掩模清洗和干燥。
一、主要達(dá)到的技術(shù)性能指標(biāo)
1．電源及電氣控制安全性技術(shù)要求
1.1電壓：AC220V/110V
1.2頻率：50Hz±1Hz
1.3功率：3kW
1.4整機(jī)絕緣電阻大于2MΩ（用1000V兆歐表測(cè)）
1.5各功能開關(guān)、按鍵、安全互鎖功能、緊急開關(guān)應(yīng)使用靈活、動(dòng)作可靠。
1.6設(shè)備表面平整、光滑、色調(diào)一致。設(shè)備內(nèi)、外各種安全、警告標(biāo)志齊全。
1.7在設(shè)備接地標(biāo)志處可靠接地。
2．使用氮?dú)獾南嚓P(guān)安全性技術(shù)要求
2.1使用氮?dú)鈮毫Γ?.23～0.28MPa（Max）
2.2使用氮?dú)夂牧浚?00～280L/min(單腔)
2.3氮?dú)饨涌诠軓剑篛D 3/8英寸(紅色標(biāo)記)
2.4氮?dú)膺^(guò)濾精度：≤0.1μm(或按用戶要求配置)
2.5設(shè)備用氮?dú)饨尤胩帨p壓閥位置應(yīng)有明顯禁調(diào)標(biāo)志，嚴(yán)禁設(shè)備在高于氮?dú)庠O(shè)定壓力時(shí)操作運(yùn)行。（提示用戶按要求配置）
2.6未經(jīng)過(guò)潔凈化處理的氮?dú)夤苈穱?yán)禁直接接入設(shè)備使用，避免對(duì)設(shè)備造成污染
3．去離子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求
3.1使用去離子水壓力：0.25～0.3MPa（推薦）
3.2使用去離子水耗量：8～12L/min(單腔)
3.3去離子水接口管徑：OD 3/8英寸(藍(lán)色標(biāo)記)
3.4設(shè)備排水口管徑：OD 32mm(UPVC管)
3.5未安裝過(guò)濾器或未經(jīng)過(guò)潔凈化處理的去離子水管路嚴(yán)禁直接接入設(shè)備使用，避免對(duì)設(shè)備造成污染。
生產(chǎn)廠家 | 國(guó)產(chǎn)型 | SEMITOOL | VERTEQ |
型號(hào) | 雙腔型 | STI-8700S | 1800-55M |
最大加工直徑mm 工作腔數(shù)量(個(gè)) 旋轉(zhuǎn)速度r/min 氮?dú)膺^(guò)濾精度μm 電阻率監(jiān)控 防靜電控制 氮?dú)饷芊?/p> 氮?dú)夂娓?/p> 腔體表面處理 驅(qū)動(dòng)電機(jī) 管件 控制器 顯示及程序 | 200 2 100-2600 0．003 有 電化學(xué)拋光 無(wú)刷電機(jī) 高純管件 PLC可編程控制 彩色液晶漢顯＋99工藝菜單 | 200 300-2800 0．003 有 電化學(xué)拋光 無(wú)刷電機(jī) 高純管件 單片微處理器 數(shù)碼管 手動(dòng) PLC可編程控制 液晶＋99種工藝菜單 |
二、解決方案
根據(jù)客戶產(chǎn)品及要求，對(duì)SEMITOOL甩干機(jī)進(jìn)行工裝及載體設(shè)計(jì)，以及后期的工藝參數(shù)調(diào)整。為客戶提供方案設(shè)計(jì)，模擬實(shí)驗(yàn)，現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用等一體化技術(shù)服務(wù)。
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